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德國(guó)ADL電源GX 50/250 5KW高精度輸出應(yīng)用于半導(dǎo)體和微電子行業(yè)

    

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德國(guó)ADL電源GX 50/250 5KW高精度輸出應(yīng)用于半導(dǎo)體和微電子行業(yè)

楊鵬輝
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德國(guó)ADL電源GX 50/250 5KW高精度輸出應(yīng)用于半導(dǎo)體和微電子行業(yè)

（1）GX 50/250 電源介紹

GX 50/250 濺射電源能夠自動(dòng)消除每秒高達(dá) 40,000 次電弧。卓越的性能與小巧的尺寸是 GX 系列的突出特點(diǎn)。該設(shè)備可在不限制啟動(dòng)時(shí)間的情況下以全輸出功率運(yùn)行，也可并聯(lián)使用。

（2）GX 50/250產(chǎn)品亮點(diǎn)

輸出功率 5 - 15 kW

水冷

電磁閥控制（可選）

? 19 英寸機(jī)箱，3 HE

無(wú)電位輸出

自動(dòng)電弧熄滅


（3）GX 50/250應(yīng)用領(lǐng)域

1. 半導(dǎo)體晶圓制程：適配晶圓表面鍍膜、晶圓襯底薄膜沉積等核心工序，為半導(dǎo)體芯片制造提供高精度功率支持，保障晶圓鍍膜的均勻性與一致性；

2. 微電子器件加工：應(yīng)用于二極管、三極管、集成電路（IC）等微電子器件的表面改性、薄膜制備工藝，滿足器件微型化、高精度的制程要求；

3. 半導(dǎo)體封裝與測(cè)試：為半導(dǎo)體器件封裝環(huán)節(jié)的鍍膜防護(hù)工藝提供穩(wěn)定電源，提升封裝器件的耐磨、抗氧化與絕緣性能；

4. 高端真空鍍膜研發(fā)：適配高校、科研院所及企業(yè)研發(fā)中心的半導(dǎo)體材料鍍膜實(shí)驗(yàn)室，為新型薄膜材料、新鍍膜工藝的研發(fā)提供高精度實(shí)驗(yàn)平臺(tái)；


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